晶圆膜转膜自动化设备
晶圆分选机是一种用于半导体制造过程中的重要设备。其结构主要包括机械主体、马达驱动部分、传感器和电子控制部分等。晶圆分选机的工作原理主要是通过马达驱动部分带动机械主体进行运动，配合传感器和电子控制部分，实现精确的位置控制和运动轨迹规划。在运动过程中，晶圆分选机会利用光学传感器对晶圆表面进行检测，判断其形状、尺寸、表面质量等因素。根据检测结果，晶圆分选机会将合格的晶圆送至指定位置，将不合格的晶圆送至废料槽。
产品亮点
1、高精密
配备高精密测试仪和进口影像系统，关键机构配置选配灵活，可搭配国内外不同品牌标准件， UPH可达2.5k-5k。
2、人机界面
操作简单、界面具有亲和力，控制系统采用运动控制卡加加彩色人机界面，即时监控机台运行状态， 可结合 MES 系统功能，及时监控机台运转状态，实现数据采集功能。
3、膜转膜设备
可检测外观、可将散料膜盘材料按规则重新摆放入新膜盘;使用寿命长，模块化设计，操作维护简单，可按要求定制膜转摆盘。
4、CCD影像
先进的影像系统可检知侧料返料和空料以及印字材料缺裂等现象，可搭配多款国内外影像识别系统，满足客户常规要求。
5、应用范围
适用晶圆、IC、光伏片、新能源材料、半导体材料等，适用膜盘规格：7寸、13寸、32寸（可按要求定制）
